时间转眼就到了第二天。
测试结果非常喜人,昆仑集团的光学系统,包括最重要的物镜在内,一次就点亮了,并且成功流片。
但与此同时,这次实验也发现了不小的问题,中科光电院负责的光源,波长虽然达标,但却存在功率太低的问题,导致硅片曝光不够,即便用系统馈赠的光学系统和超级物镜,也没办法挽救。
“情况怎么样了?”
高原跑去睡了一觉,回到实验室打了个哈欠。
楚落落小脸煞白,这可怜的孩子,激动加担心,令她昨晚都没睡好,而高原就不同了,他不仅舒舒服服睡一觉,还顺便进入系统空间学习知识。
“还在调整光源,他们太拖后腿了,我看实在不行,就用咱们自己的光源吧!”楚落落心思单纯,也没有多想,当即说道。
高原蹙眉,看着实验室里,一群穿着白色防尘服的工程师,正在对光源发生器进行调试,整个测试也因此陷入停滞,大家都在等待。
看来他们的激光功率的确有问题,而且不像一时半刻能够解决的样子。
想到这里,高原走进了项目办公室。
由于是联合项目,各家老总都来了,所以办公室里人比较多,一个个都显得很疲惫。
“杜所长。”高原对长春光机所的杜维明说道:“这次我们带来了超紫外光源,实在不行,就先测试超紫外激光吧,光电所的深紫外放在后面测。”
高原带了光源,这件事他早就通报过的,在场的人都很清楚。
只是大家心里都有点疑惑,超紫外光源是个什么东西?以前没听说过啊!
光电所做的光源叫紫外,或者说深紫外激光,波长193nm,是目前全球应用最广泛的存在,从微米级芯片,一直到14nm芯片,都可以使用这种光源。
半导体代工巨头台积电,甚至用深紫外激光拿下了7nm工艺,令全球为之震撼,彻底打响了自己半导体领域第一天王山的名号。
所以中科光电所测试深紫外光源,高原一点意见都没有,这种光源虽然做不出顶级工艺,但胜在便宜啊,性价比高,并不是说高原拿出超紫外光源后,深紫外光源就不需要了。
合格的光刻机台,应该同时兼容好几种光源,好几种工艺,所以高原让中科光电所先测试深紫外光,打算等他们弄好了,再测试自己的超紫外。
谁知道光电所一整天下来,毫无进展,这让高原有点按捺不住了,提出让光电所的工程师休息一下,人有时候就是这样,越忙越忙,弄不好大家睡一觉,洗个热水澡,茅塞顿开,困难就解决了。
杜维明蹙眉道:“把光源发生器拆下来,再换上你们的,恐怕要大半天时间呢,要不再等等吧,光源又不是电灯泡,换来换去的很麻烦,而且每次拆装,精度还要再次校准。”
杜
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